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      ALD上下料机

      产品特点

      最高产能可达到16000pcs/h

      可根据客户需求进行配置

      特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，陶瓷侧齿，减少硅片划伤，保证设备的稳定性

      ALD上下料机技术参数
      技术参数相关参数
      产能8000/11000/16000 pcs/h
      金属舟规格 200槽 ，节距2.38mm
      硅片尺寸 166mm-210mm
      适用花篮100 casstte
      碎片率≤0.03%
      开机率≥98%
      耗气量1000L/min
      具体参数如有变动，本公司不另行通知！
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